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SpecEl 椭偏仪
SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
技术参数
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波长范围: |
380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
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光学分辨率 |
4.0 nm FWHM |
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测量精度 |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
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入射角 |
70° |
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膜厚 |
单透明膜1-5000 nm |
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光点尺寸 |
2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选) |
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采样时间 |
3-15s (小) |
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动态记录 |
3 seconds |
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膜层数 |
至多32层 |
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参考 |
不需要 |
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